图形化氧化铟锡膜臭氧传感器研发取得突破
分类：技术文章 发布时间：2026-03-27
图形化氧化铟锡膜臭氧传感器研发取得突破中国科学院合肥物质科学研究院联合相关团队，近期成功研发了一款基于图形化氧化铟锡膜的微型臭氧传感器。该传感器以常规氧化铟锡玻璃为基材，结合飞秒激光刻蚀与氩氢等离子体刻蚀技术，构建出具有自加热功能的结构设计，实现了对低浓度臭氧的高精度、快速与稳定检测。在近地面环境中，臭氧污染已成为大…
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